Michael R. Wertheimer
, M. Moisan
Article de revue (1994)
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Titre de la revue
:
Pure and Applied Chemistry
(
vol.
66
,
no
6
)
Maison d'édition:
Walter de Gruyter
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:32747
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:20
Citer en APA 7:
Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (1994). Processing of electronic materials by microwave plasma. Pure and Applied Chemistry, 66(6), 1343-1352. https://doi.org/10.1351/pac199466061343
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