Processing of electronic materials by microwave plasma

Michael R. Wertheimer et M. Moisan

Article de revue (1994)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/32747/
Titre de la revue:	Pure and Applied Chemistry (vol. 66, no 6)
Maison d'édition:	Walter de Gruyter
DOI:	10.1351/pac199466061343
URL officielle:	https://doi.org/10.1351/pac199466061343
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	08 avr. 2025 06:53

Citer en APA 7:	Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (1994). Processing of electronic materials by microwave plasma. Pure and Applied Chemistry, 66(6), 1343-1352. https://doi.org/10.1351/pac199466061343
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