Michael R. Wertheimer
et M. Moisan
Article de revue (1994)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/32747/ |
| Titre de la revue: | Pure and Applied Chemistry (vol. 66, no 6) |
| Maison d'édition: | Walter de Gruyter |
| DOI: | 10.1351/pac199466061343 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1351/pac199466061343 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:15 |
| Citer en APA 7: | Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (1994). Processing of electronic materials by microwave plasma. Pure and Applied Chemistry, 66(6), 1343-1352. https://doi.org/10.1351/pac199466061343 |
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