Laser direct writing of micron-size silicon lines from trisilane

S. Boughaba, G. Auvert

Article de revue (1995)

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Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 78 , no 11 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:32529
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:20
Citer en APA 7:
Boughaba, S., & Auvert, G. (1995). Laser direct writing of micron-size silicon lines from trisilane. Journal of Applied Physics, 78(11), 6791-6796. https://doi.org/10.1063/1.360504

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