Article de revue (1995)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/32529/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 78, no 11) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.360504 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.360504 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 06:53 |
| Citer en APA 7: | Boughaba, S., & Auvert, G. (1995). Laser direct writing of micron-size silicon lines from trisilane. Journal of Applied Physics, 78(11), 6791-6796. https://doi.org/10.1063/1.360504 |
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