CO₂ laser cleaning of hydrophilic oxidized silicon surfaces

S. Boughaba, Edward Sacher et Michel Meunier

Communication écrite (1995)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/31472/
Nom de la conférence:	MRS Fall Symposium
Lieu de la conférence:	Boston, MA, USA
Date(s) de la conférence:	1995-11-27 - 1995-11-30
Maison d'édition:	Materials Research Society
DOI:	10.1557/proc-397-497
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-397-497
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:13

Citer en APA 7:	Boughaba, S., Sacher, E., & Meunier, M. (novembre 1995). CO₂ laser cleaning of hydrophilic oxidized silicon surfaces [Communication écrite]. MRS Fall Symposium, Boston, MA, USA. https://doi.org/10.1557/proc-397-497
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