Thèse de doctorat (1996)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| Directeurs ou directrices: | Frank Ajersch |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/31284/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:13 |
| Citer en APA 7: | Grenier, S. (1996). Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. |
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