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Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane

Serge Grenier

Ph.D. thesis (1996)

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Additional Information: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: Frank Ajersch
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/31284/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 18 Apr 2023 15:24
Last Modified: 05 Apr 2024 11:21
Cite in APA 7: Grenier, S. (1996). Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal].

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