Ph.D. thesis (1996)
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| Additional Information: | Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux |
|---|---|
| Department: | Department of Engineering Physics |
| Academic/Research Directors: | Frank Ajersch |
| PolyPublie URL: | https://publications.polymtl.ca/31284/ |
| Institution: | École Polytechnique de Montréal |
| Date Deposited: | 18 Apr 2023 15:24 |
| Last Modified: | 25 Sep 2024 16:13 |
| Cite in APA 7: | Grenier, S. (1996). Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. |
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