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Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane

Serge Grenier

Thèse de doctorat (1996)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Frank Ajersch
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31284/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 18 avr. 2023 15:24
Citer en APA 7: Grenier, S. (1996). Développement de la méthode de déposition réactive par plasma pour la formation de films de nitrure de titane [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].

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