J. B. Héroux, S. Boughaba, Edward Sacher, Michel Meunier
Article de revue (1996)
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Titre de la revue
:
Canadian Journal of Physics
(
vol.
74
,
no
1
)
Maison d'édition:
Canadian Science Publishing
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31239
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:18
Citer en APA 7:
Héroux, J. B., Boughaba, S., Sacher, E., & Meunier, M. (1996). CO₂ laser-assisted particle removal from silicon surfaces. Canadian Journal of Physics, 74(1), 95-99. https://doi.org/10.1139/p96-840
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