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CO₂ laser-assisted particle removal from silicon surfaces

J. B. Héroux, S. Boughaba, Edward Sacher et Michel Meunier

Article de revue (1996)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31239/
Titre de la revue: Canadian Journal of Physics (vol. 74, no 1)
Maison d'édition: Canadian Science Publishing
DOI: 10.1139/p96-840
URL officielle: https://doi.org/10.1139/p96-840
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 18 avr. 2023 15:24
Citer en APA 7: Héroux, J. B., Boughaba, S., Sacher, E., & Meunier, M. (1996). CO₂ laser-assisted particle removal from silicon surfaces. Canadian Journal of Physics, 74(1), 95-99. https://doi.org/10.1139/p96-840

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