J. B. Héroux, S. Boughaba, Edward Sacher et Michel Meunier
Article de revue (1996)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/31239/ |
| Titre de la revue: | Canadian Journal of Physics (vol. 74, no 1) |
| Maison d'édition: | Canadian Science Publishing |
| DOI: | 10.1139/p96-840 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1139/p96-840 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 06:51 |
| Citer en APA 7: | Héroux, J. B., Boughaba, S., Sacher, E., & Meunier, M. (1996). CO₂ laser-assisted particle removal from silicon surfaces. Canadian Journal of Physics, 74(1), 95-99. https://doi.org/10.1139/p96-840 |
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