Mathieu Allard, S. Boughaba, Michel Meunier
Communication écrite (1996)
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Nom de la conférence:
Symposium H on Laser Processing of Surfaces and Thin Films of the 1996 E-MRS Spring Conference
Lieu de la conférence:
Strasbourg France
Date(s) de la conférence:
1996-06-04
Titre de la revue
:
Applied surface science
(
vol.
109-110
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:30728
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:17
Citer en APA 7:
Allard, M., Boughaba, S., & Meunier, M. (juin 1996). Laser micromachining of free-standing structures in SiO₂ -covered silicon [Communication écrite]. Symposium H on Laser Processing of Surfaces and Thin Films of the 1996 E-MRS Spring Conference, Strasbourg France. Publié dans Applied surface science, 109-110. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900658-7
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