M. Allard, S. Boughaba et Michel Meunier
Communication écrite (1996)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/30728/ |
| Nom de la conférence: | Symposium H on Laser Processing of Surfaces and Thin Films of the 1996 E-MRS Spring Conference |
| Lieu de la conférence: | Strasbourg France |
| Date(s) de la conférence: | 1996-06-04 |
| Titre de la revue: | Applied surface science (vol. 109-110) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/s0169-4332(96)00658-7 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900658-7 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:12 |
| Citer en APA 7: | Allard, M., Boughaba, S., & Meunier, M. (juin 1996). Laser micromachining of free-standing structures in SiO₂ -covered silicon [Communication écrite]. Symposium H on Laser Processing of Surfaces and Thin Films of the 1996 E-MRS Spring Conference, Strasbourg France. Publié dans Applied surface science, 109-110. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900658-7 |
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