A. C. Fozza, J. Roch, Jolanta-Ewa Sapieha
, A. Kruse, A. Holländer et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1997)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/30472/ |
| Titre de la revue: | Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms (vol. 131, no 1-4) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/s0168-583x(97)00154-7 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/s0168-583x%2897%2900154-7 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:12 |
| Citer en APA 7: | Fozza, A. C., Roch, J., Sapieha, J.-E., Kruse, A., Holländer, A., & Wertheimer, M. R. (1997). Oxidation and ablation of polymers by vacuum-UV radiation from low pressure plasmas. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B, Beam Interactions With Materials and Atoms, 131(1-4), 205-210. https://doi.org/10.1016/s0168-583x%2897%2900154-7 |
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