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Surface characterization of excimer laser induced deposition of W on GaAs from WF₆ and H₂

Malek Tabbal, Ricardo Izquierdo, Michel Meunier, Corinne Pépin et Arthur Yelon

Article de revue (1997)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Organismes subventionnaires: CRSNG / NSERC, Fonds pour la Formation de Chercheurs et l'Aide à la Recherche (FCAR) of Québec.
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/30041/
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 108, no 4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0169-4332(96)00691-5
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900691-5
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:11
Citer en APA 7: Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., Pépin, C., & Yelon, A. (1997). Surface characterization of excimer laser induced deposition of W on GaAs from WF₆ and H₂. Applied Surface Science, 108(4), 417-424. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900691-5

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