Surface characterization of excimer laser induced deposition of W on GaAs from WF₆ and H₂

Malek Tabbal, Ricardo Izquierdo, Michel Meunier, Corinne Pépin, Arthur Yelon

Article de revue (1997)

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Organismes subventionnaires:
CRSNG / NSERC, Fonds pour la Formation de Chercheurs et l'Aide à la Recherche (FCAR) of Québec.
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Applied Surface Science ( vol. 108 , no 4 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:30041
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:16
Citer en APA 7:
Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., Pépin, C., & Yelon, A. (1997). Surface characterization of excimer laser induced deposition of W on GaAs from WF₆ and H₂. Applied Surface Science, 108(4), 417-424. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2896%2900691-5

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