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Low-Pressure Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Inp on (111) Substrates

Y. Ababou, Rémo A. Masut et Arthur Yelon

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29925/
Titre de la revue: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 2)
Maison d'édition: American Vacuum Society
DOI: 10.1116/1.581101
URL officielle: https://doi.org/10.1116/1.581101
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:11
Citer en APA 7: Ababou, Y., Masut, R. A., & Yelon, A. (1998). Low-Pressure Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Inp on (111) Substrates. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(2), 790-793. https://doi.org/10.1116/1.581101

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