Low-Pressure Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Inp on (111) Substrates

Y. Ababou, Rémo A. Masut et Arthur Yelon

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/29925/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 2)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.581101
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.581101
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:19

Citer en APA 7:	Ababou, Y., Masut, R. A., & Yelon, A. (1998). Low-Pressure Metalorganic Vapor Phase Epitaxy of Inp on (111) Substrates. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(2), 790-793. https://doi.org/10.1116/1.581101
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