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Nonevaporable getter films for ultrahigh vacuum applications

Cristoforo Benvenuti, P. Chiggiato, Fabio Cicoira et Y. L'Aminot

Article de revue (1998)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29848/
Titre de la revue: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 1)
Maison d'édition: American Vacuum Society
DOI: 10.1116/1.580963
URL officielle: https://doi.org/10.1116/1.580963
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 04 oct. 2024 11:17
Citer en APA 7: Benvenuti, C., Chiggiato, P., Cicoira, F., & L'Aminot, Y. (1998). Nonevaporable getter films for ultrahigh vacuum applications. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(1), 148-154. https://doi.org/10.1116/1.580963

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