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Transparent barrier coatings on polyethylene terephthalate by single- and dual-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition

Sobrinho A. S. Da Silva, M. Latrèche, G. Czeremuszkin, Jolanta-Ewa Sapieha et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29749/
Titre de la revue: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 6)
Maison d'édition: American Vacuum Society
DOI: 10.1116/1.581519
URL officielle: https://doi.org/10.1116/1.581519
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:11
Citer en APA 7: Da Silva, S. A. S., Latrèche, M., Czeremuszkin, G., Sapieha, J.-E., & Wertheimer, M. R. (1998). Transparent barrier coatings on polyethylene terephthalate by single- and dual-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(6), 3190-3198. https://doi.org/10.1116/1.581519

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