Sobrinho A. S. Da Silva, M. Latreche, G. Czeremuszkin, Jolanta-Ewa Sapieha
et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1998)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/29749/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 6) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.581519 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.581519 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:18 |
| Citer en APA 7: | Da Silva, S. A. S., Latreche, M., Czeremuszkin, G., Sapieha, J.-E., & Wertheimer, M. R. (1998). Transparent barrier coatings on polyethylene terephthalate by single- and dual-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(6), 3190-3198. https://doi.org/10.1116/1.581519 |
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