Sobrinho A. S. Da Silva, M. Latrèche, G. Czeremuszkin, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1998)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
16
,
no
6
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29749
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:07
Citer en APA 7:
Da Silva, S. A. S., Latrèche, M., Czeremuszkin, G., Sapieha, J.-E., & Wertheimer, M. R. (1998). Transparent barrier coatings on polyethylene terephthalate by single- and dual-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(6), 3190-3198. https://doi.org/10.1116/1.581519
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