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Characterization of defects in PECVD-SiO₂ coatings on PET by confocal microscopy

A. S. da Silva Sobrinho, J. Chasle, G. Dennler et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29747/
Titre de la revue: Plasmas and Polymers (vol. 3, no 4)
Maison d'édition: Kluwer Academic Publishers
DOI: 10.1023/a:1021854805605
URL officielle: https://doi.org/10.1023/a%3a1021854805605
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:11
Citer en APA 7: da Silva Sobrinho, A. S., Chasle, J., Dennler, G., & Wertheimer, M. R. (1998). Characterization of defects in PECVD-SiO₂ coatings on PET by confocal microscopy. Plasmas and Polymers, 3(4), 231-247. https://doi.org/10.1023/a%3a1021854805605

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