A. C. Fozza, A. Kruse, A. Holländer, A. Ricard et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1998)
Un lien externe est disponible pour ce documentRenseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
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Département: | Département de génie physique |
URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/29686/ |
Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 16, no 1) |
Maison d'édition: | American Vacuum Society |
DOI: | 10.1116/1.581014 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.581014 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:11 |
Citer en APA 7: | Fozza, A. C., Kruse, A., Holländer, A., Ricard, A., & Wertheimer, M. R. (1998). Vacuum Ultraviolet to Visible Emission of Some Pure Gases and Their Mixtures Used for Plasma Processing. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(1), 72-77. https://doi.org/10.1116/1.581014 |
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