A. S. D. Sobrinho, N. Schühler, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer, M. Andrews, S. C. Gujrathi
Article de revue (1998)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
16
,
no
4
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:29308
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:06
Citer en APA 7:
Sobrinho, A. S. D., Schühler, N., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., Andrews, M., & Gujrathi, S. C. (1998). Plasma-Deposited Silicon Oxide and Silicon Nitride Films on Poly(Ethylene Terephthalate): a Multitechnique Study of the Interphase Regions. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 16(4), 2021-2030. https://doi.org/10.1116/1.581305
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