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Excimer laser-induced removal of particles from silison surfaces: effects of photoacoustic waves

X. Wu, Michel Meunier et Edward Sacher

Communication écrite (1998)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/29240/
Nom de la conférence: 21st Annual Meeting of the Adhesion Society
Date(s) de la conférence: 1998-01-01 - 1998-12-31
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:10
Citer en APA 7: Wu, X., Meunier, M., & Sacher, E. (janvier 1998). Excimer laser-induced removal of particles from silison surfaces: effects of photoacoustic waves [Communication écrite]. 21st Annual Meeting of the Adhesion Society.

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