Michel Meunier
, Xiaoguang Wu, Felix Beaudoin, Edward Sacher, Martine Simard-Normandin
Communication écrite (1999)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
4th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 1999)
Lieu de la conférence:
San Jose, CA, USA
Date(s) de la conférence:
1999-01-25
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:28742
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:05
Citer en APA 7:
Meunier, M., Wu, X., Beaudoin, F., Sacher, E., & Simard-Normandin, M. (janvier 1999). Excimer laser cleaning for microelectronics : Modeling, applications and challenges [Communication écrite]. 4th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 1999), San Jose, CA, USA. https://doi.org/10.1117/12.352691
Statistiques
Dimensions
