Excimer laser cleaning for microelectronics : Modeling, applications and challenges

Michel Meunier, Xiaoguang Wu, Felix Beaudoin, Edward Sacher et Martine Simard-Normandin

Communication écrite (1999)

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Renseignements supplémentaires:	Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/28742/
Nom de la conférence:	4th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 1999)
Lieu de la conférence:	San Jose, CA, USA
Date(s) de la conférence:	1999-01-25
Maison d'édition:	SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.352691
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.352691
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:17

Citer en APA 7:	Meunier, M., Wu, X., Beaudoin, F., Sacher, E., & Simard-Normandin, M. (janvier 1999). Excimer laser cleaning for microelectronics : Modeling, applications and challenges [Communication écrite]. 4th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 1999), San Jose, CA, USA. https://doi.org/10.1117/12.352691
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