I. C. Ressejac, L. M. Landsberger, John F. Currie
Article de revue (2000)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
18
,
no
2
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27886
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:04
Citer en APA 7:
Ressejac, I. C., Landsberger, L. M., & Currie, J. F. (2000). Bistable Microelectrothermal Actuator in a Standard Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Process. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 18(2), 746-749. https://doi.org/10.1116/1.582171
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