Michel Meunier
, Yves Gagnon, Yvon Savaria, Alain Lacourse, Maxime Cadotte
Communication écrite (2001)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie électrique et de génie informatique ;
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
6th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2001)
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27197
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:03
Citer en APA 7:
Meunier, M., Gagnon, Y., Savaria, Y., Lacourse, A., & Cadotte, M. A novel laser trimming technique for microelectronics [Communication écrite]. 6th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2001). https://doi.org/10.1117/12.432531
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