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A novel laser trimming technique for microelectronics

Michel Meunier, Y. Gagnon, Yvon Savaria, A. Lacourse et Maxime Cadotte

Communication écrite (2001)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie électrique et de génie informatique ;
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie électrique
Département de génie informatique et génie logiciel
Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/27197/
Nom de la conférence: 6th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2001)
Maison d'édition: SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI: 10.1117/12.432531
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.432531
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:14
Citer en APA 7: Meunier, M., Gagnon, Y., Savaria, Y., Lacourse, A., & Cadotte, M. A novel laser trimming technique for microelectronics [Communication écrite]. 6th Conference on Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM 2001). https://doi.org/10.1117/12.432531

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