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The Enhancement of the Adhesion of Copper Layers to Dow Cyclotene 3022 Through Metal Sputtering

De Quan Yang, Edward Sacher, E. M. Griswold et G. Smith

Article de revue (2001)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/26936/
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 180, no 3-4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0169-4332(01)00339-7
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2801%2900339-7
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:14
Citer en APA 7: Yang, D. Q., Sacher, E., Griswold, E. M., & Smith, G. (2001). The Enhancement of the Adhesion of Copper Layers to Dow Cyclotene 3022 Through Metal Sputtering. Applied Surface Science, 180(3-4), 200-208. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2801%2900339-7

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