A novel laser trimming technique for microelectronics

Michel Meunier, Yves Gagnon, Yvon Savaria, Alain Lacourse, Maxime Cadotte

Communication écrite (2001)

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Nom de la conférence:
European Materials Research Society 2001-Symposium L "Photon-Induced Surface Processing"
Lieu de la conférence:
Strasbourg, France
Date(s) de la conférence:
2001-06-05
Titre de la revue :
Applied Surface Science ( vol. 186 , no 1-4 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:26427
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:
12 oct. 2026 18:09
Citer en APA 7:
Meunier, M., Gagnon, Y., Savaria, Y., Lacourse, A., & Cadotte, M. (juin 2001). A novel laser trimming technique for microelectronics [Communication écrite]. European Materials Research Society 2001-Symposium L "Photon-Induced Surface Processing", Strasbourg, France. Publié dans Applied Surface Science, 186(1-4). https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2801%2900622-5

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