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A novel laser trimming technique for microelectronics

Michel Meunier, Y. Gagnon, Yvon Savaria, A. Lacourse et M. Cadotte

Communication écrite (2001)

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Département: Département de génie électrique
Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/26427/
Nom de la conférence: European Materials Research Society 2001-Symposium L "Photon-Induced Surface Processing"
Lieu de la conférence: Strasbourg, France
Date(s) de la conférence: 2001-06-05
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 186, no 1-4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/s0169-4332(01)00622-5
URL officielle: https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2801%2900622-5
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 05 mai 2023 15:32
Citer en APA 7: Meunier, M., Gagnon, Y., Savaria, Y., Lacourse, A., & Cadotte, M. (juin 2001). A novel laser trimming technique for microelectronics [Communication écrite]. European Materials Research Society 2001-Symposium L "Photon-Induced Surface Processing", Strasbourg, France. Publié dans Applied Surface Science, 186(1-4). https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2801%2900622-5

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