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Plasmas and polymers: from APGD to PECVD

Michael R. Wertheimer, Gilles Dennler et Sébastien Guimond

Communication écrite (2003)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/25413/
Nom de la conférence: 16th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2003)
Lieu de la conférence: Taormina, Italy
Date(s) de la conférence: 2003-06-22 - 2003-06-27
URL officielle: https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc16/co...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 24 juil. 2025 13:41
Citer en APA 7: Wertheimer, M. R., Dennler, G., & Guimond, S. (juin 2003). Plasmas and polymers: from APGD to PECVD [Communication écrite]. 16th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2003), Taormina, Italy. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc16/complete/ISPC16_600_866.pdf#page=997

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