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The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study

De Quan Yang, Edward Sacher et Michel Meunier

Article de revue (2004)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24512/
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 222, no 1-4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/j.apsusc.2003.09.025
URL officielle: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:19
Dernière modification: 18 déc. 2023 14:31
Citer en APA 7: Yang, D. Q., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study. Applied Surface Science, 222(1-4), 365-373. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025

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