The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study

De Quan Yang, Edward Sacher, Michel Meunier

Article de revue (2004)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/24512/
Titre de la revue :
Applied Surface Science ( vol. 222 , no 1-4 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/j.apsusc.2003.09.025
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24512
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:58
Citer en APA 7:
Yang, D. Q., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study. Applied Surface Science, 222(1-4), 365-373. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025

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