The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study

De Quan Yang, Edward Sacher et Michel Meunier

Article de revue (2004)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/24512/
Titre de la revue:	Applied Surface Science (vol. 222, no 1-4)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.apsusc.2003.09.025
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:04

Citer en APA 7:	Yang, D. Q., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). The early stages of silicon surface damage induced by pulsed CO₂ laser radiation: an AFM study. Applied Surface Science, 222(1-4), 365-373. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2003.09.025
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