System integration of high voltage electrostatic MEMS Actuators

Jean-François Saheb, J.-F. Richard, Rémi Meingan, Mohamad Sawan, Yvon Savaria

Communication écrite (2005)

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
3rd IEEE International Northeast Workshop on Circuits and Systems (NEWCAS 2005)
Lieu de la conférence:
Québec, Canada
Date(s) de la conférence:
2005-06-19 - 2005-06-22
Maison d'édition:
IEEE
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23705
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Saheb, J.-F., Richard, J.-F., Meingan, R., Sawan, M., & Savaria, Y. (juin 2005). System integration of high voltage electrostatic MEMS Actuators [Communication écrite]. 3rd IEEE International Northeast Workshop on Circuits and Systems (NEWCAS 2005), Québec, Canada. https://doi.org/10.1109/newcas.2005.1496677

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document