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System integration of high voltage electrostatic MEMS Actuators

J. F. Saheb, J.-F. Richard, R. Meingan, Mohamad Sawan et Yvon Savaria

Communication écrite (2005)

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Département: Département de génie électrique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/23705/
Nom de la conférence: 3rd IEEE International Northeast Workshop on Circuits and Systems (NEWCAS 2005)
Lieu de la conférence: Québec, Canada
Date(s) de la conférence: 2005-06-19 - 2005-06-22
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/newcas.2005.1496677
URL officielle: https://doi.org/10.1109/newcas.2005.1496677
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 05 mai 2023 15:29
Citer en APA 7: Saheb, J. F., Richard, J.-F., Meingan, R., Sawan, M., & Savaria, Y. (juin 2005). System integration of high voltage electrostatic MEMS Actuators [Communication écrite]. 3rd IEEE International Northeast Workshop on Circuits and Systems (NEWCAS 2005), Québec, Canada. https://doi.org/10.1109/newcas.2005.1496677

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