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Deformable MEMS grating for wide tunability

M. Tormen, Yves-Alain Peter, Ph. Niedermann, A. Hoogerwerf et R. Stanley

Communication écrite (2023)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/23617/
Nom de la conférence: International Conference on Optical MEMS and Their Applications
Lieu de la conférence: Oulu, Finlande
Date(s) de la conférence: 2023-08-01 - 2023-08-04
Maison d'édition: Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI: 10.1109/omems.2005.1540135
URL officielle: https://doi.org/10.1109/omems.2005.1540135
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:03
Citer en APA 7: Tormen, M., Peter, Y.-A., Niedermann, P., Hoogerwerf, A., & Stanley, R. (août 2023). Deformable MEMS grating for wide tunability [Communication écrite]. International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Oulu, Finlande. https://doi.org/10.1109/omems.2005.1540135

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