Pecvd of Nanocrystalline Si Layers on High-Tg Polymer Substrates

Luke A. MacQueen, Janik Zikovsky, Gilles Dennler, Mohamed Latreche, Grzegorz Czeremuszkin, Michael R. Wertheimer

Article de revue (2006)

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Titre de la revue :
Plasma Processes and Polymers ( vol. 3 , no 1 )
Maison d'édition:
Wiley
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22800
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:56
Citer en APA 7:
MacQueen, L. A., Zikovsky, J., Dennler, G., Latreche, M., Czeremuszkin, G., & Wertheimer, M. R. (2006). Pecvd of Nanocrystalline Si Layers on High-Tg Polymer Substrates. Plasma Processes and Polymers, 3(1), 58-65. https://doi.org/10.1002/ppap.200500145

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