Tunable micro-electromechanical grating in silicon

Yves-Alain Peter, Fatou Binetou Koné, Jonathan Masson, Nicolas Godbout

Communication écrite (2006)

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Nom de la conférence:
Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II
Lieu de la conférence:
Boston, MA, United States
Date(s) de la conférence:
2006-10-03 - 2006-10-04
Maison d'édition:
International Society for Optical Engineering
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22635
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Peter, Y.-A., Koné, F. B., Masson, J., & Godbout, N. (octobre 2006). Tunable micro-electromechanical grating in silicon [Communication écrite]. Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II, Boston, MA, United States. https://doi.org/10.1117/12.690773

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