Yves-Alain Peter
, Fatou Binetou Kone, Jonathan Masson et Nicolas Godbout
Communication écrite (2006)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/22635/ |
| Nom de la conférence: | Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II |
| Lieu de la conférence: | Boston, MA, United States |
| Date(s) de la conférence: | 2006-10-03 - 2006-10-04 |
| Maison d'édition: | International Society for Optical Engineering |
| DOI: | 10.1117/12.690773 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.690773 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:01 |
| Citer en APA 7: | Peter, Y.-A., Kone, F. B., Masson, J., & Godbout, N. (octobre 2006). Tunable micro-electromechanical grating in silicon [Communication écrite]. Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II, Boston, MA, United States. https://doi.org/10.1117/12.690773 |
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