Tunable micro-electromechanical grating in silicon

Yves-Alain Peter, Fatou Binetou Koné, Jonathan Masson et Nicolas Godbout

Communication écrite (2006)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/22635/
Nom de la conférence:	Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II
Lieu de la conférence:	Boston, MA, United States
Date(s) de la conférence:	2006-10-03 - 2006-10-04
Maison d'édition:	International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.690773
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.690773
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:	08 avr. 2025 02:10

Citer en APA 7:	Peter, Y.-A., Koné, F. B., Masson, J., & Godbout, N. (octobre 2006). Tunable micro-electromechanical grating in silicon [Communication écrite]. Optomechatronic Micro/Nano Devices and Components II, Boston, MA, United States. https://doi.org/10.1117/12.690773
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel