Robust control of an electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties

Guchuan Zhu, Julien Penet, Lahcen Saydy

Communication écrite (2006)

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ISBN:
1424402093
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
American Control Conference (ACC 2006)
Lieu de la conférence:
Minneapolis, MN, USA
Date(s) de la conférence:
2006-06-14 - 2006-06-16
Maison d'édition:
IEEE
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22354
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Zhu, G., Penet, J., & Saydy, L. (juin 2006). Robust control of an electrostatically actuated MEMS in the presence of parasitics and parametric uncertainties [Communication écrite]. American Control Conference (ACC 2006), Minneapolis, MN, USA. https://doi.org/10.1109/acc.2006.1656386

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