System integration of high voltage electrostatic MEMS actuators

Jean-François Saheb, Jean-François Richard, Mohamad Sawan, Remi Meingan et Yvon Savaria

Article de revue (2007)

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Département:	Département de génie électrique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/21433/
Titre de la revue:	Analog Integrated Circuits and Signal Processing (vol. 53, no 1)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/s10470-006-9020-x
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/s10470-006-9020-x
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:05

Citer en APA 7:	Saheb, J.-F., Richard, J.-F., Sawan, M., Meingan, R., & Savaria, Y. (2007). System integration of high voltage electrostatic MEMS actuators. Analog Integrated Circuits and Signal Processing, 53(1), 27-34. https://doi.org/10.1007/s10470-006-9020-x
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