Jean-François Saheb, Jean-François Richard, Mohamad Sawan
, Remi Meingan, Yvon Savaria
Article de revue (2007)
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Titre de la revue
:
Analog Integrated Circuits and Signal Processing
(
vol.
53
,
no
1
)
Maison d'édition:
Springer
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:21433
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
12 oct. 2026 18:09
Citer en APA 7:
Saheb, J.-F., Richard, J.-F., Sawan, M., Meingan, R., & Savaria, Y. (2007). System integration of high voltage electrostatic MEMS actuators. Analog Integrated Circuits and Signal Processing, 53(1), 27-34. https://doi.org/10.1007/s10470-006-9020-x
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