I. H. Song, Yves-Alain Peter
, Michel Meunier
Article de revue (2007)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(
vol.
17
,
no
8
)
Maison d'édition:
IOP Publishing
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:21391
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:53
Citer en APA 7:
Song, I. H., Peter, Y.-A., & Meunier, M. (2007). Smoothing Dry-Etched Microstructure Sidewalls Using Focused Ion Beam Milling for Optical Applications. Journal of Micromechanics and Microengineering, 17(8), 1593-1597. https://doi.org/10.1088/0960-1317/17/8/023
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