Smoothing Dry-Etched Microstructure Sidewalls Using Focused Ion Beam Milling for Optical Applications

I. H. Song, Yves-Alain Peter et Michel Meunier

Article de revue (2007)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/21391/
Titre de la revue:	Journal of Micromechanics and Microengineering (vol. 17, no 8)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0960-1317/17/8/023
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0960-1317/17/8/023
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:05

Citer en APA 7:	Song, I. H., Peter, Y.-A., & Meunier, M. (2007). Smoothing Dry-Etched Microstructure Sidewalls Using Focused Ion Beam Milling for Optical Applications. Journal of Micromechanics and Microengineering, 17(8), 1593-1597. https://doi.org/10.1088/0960-1317/17/8/023
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