Yves-Alain Peter
, Jonathan Masson, Raphaël St-Gelais
Brevet (2012)
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Autre numéro: US20090153844 (demande)
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Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:22
Citer en APA 7:
Peter, Y.-A., Masson, J., & St-Gelais, R. (2012). MEMS tunable silicon fabry-perot cavity and applications thereof. (Brevet no US8174698). https://patents.google.com/patent/US8174698
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