MEMS tunable silicon fabry-perot cavity and applications thereof

Yves-Alain Peter, Jonathan Masson et Raphaël St-Gelais

Brevet (2012)

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Renseignements supplémentaires:	Autre numéro: US20090153844 (demande)
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/19086/
URL officielle:	https://patents.google.com/patent/US8174698
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:57

Citer en APA 7:	Peter, Y.-A., Masson, J., & St-Gelais, R. (2012). MEMS tunable silicon fabry-perot cavity and applications thereof. (Brevet no US8174698). https://patents.google.com/patent/US8174698
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