In-Hyouk Song, Yves-Alain Peter
, Michel Meunier
Article de revue (2009)
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Département:
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Titre de la revue
:
Microsystem Technologies
(
vol.
15
,
no
7
)
Maison d'édition:
Springer
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:18917
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:15
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:22
Citer en APA 7:
Song, I.-H., Peter, Y.-A., & Meunier, M. (2009). Resonant frequency sensitive MEMS bandpass filter using capacitive sensing scheme. Microsystem Technologies, 15(7), 973-979. https://doi.org/10.1007/s00542-009-0823-4
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