Resonant frequency sensitive MEMS bandpass filter using capacitive sensing scheme

In-Hyouk Song, Yves-Alain Peter et Michel Meunier

Article de revue (2009)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/18917/
Titre de la revue:	Microsystem Technologies (vol. 15, no 7)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/s00542-009-0823-4
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/s00542-009-0823-4
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:15
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:56

Citer en APA 7:	Song, I.-H., Peter, Y.-A., & Meunier, M. (2009). Resonant frequency sensitive MEMS bandpass filter using capacitive sensing scheme. Microsystem Technologies, 15(7), 973-979. https://doi.org/10.1007/s00542-009-0823-4
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