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In-plane silicon-on-insulator optical MEMS accelerometer using waveguide Fabry-Perot microcavity with silicon/air Bragg mirrors

Kazem Zandi, Brian Wong, Jing Zou, Roman V. Kruzelecky, Wes Jamroz et Yves-Alain Peter

Communication écrite (2010)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/17413/
Nom de la conférence: 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2010)
Lieu de la conférence: Hong Kong
Date(s) de la conférence: 2010-01-24 - 2010-01-28
Maison d'édition: Institute of Electrical and Electronics Engineers
DOI: 10.1109/memsys.2010.5442337
URL officielle: https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442337
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:14
Dernière modification: 05 avr. 2024 10:59
Citer en APA 7: Zandi, K., Wong, B., Zou, J., Kruzelecky, R. V., Jamroz, W., & Peter, Y.-A. (janvier 2010). In-plane silicon-on-insulator optical MEMS accelerometer using waveguide Fabry-Perot microcavity with silicon/air Bragg mirrors [Communication écrite]. 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2010), Hong Kong. https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442337

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