Kazem Zandi, Brian Wong, Jing Zou, Roman V. Kruzelecky, Wes Jamroz et Yves-Alain Peter
Communication écrite (2010)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
---|---|
URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/17413/ |
Nom de la conférence: | 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2010) |
Lieu de la conférence: | Hong Kong |
Date(s) de la conférence: | 2010-01-24 - 2010-01-28 |
Maison d'édition: | Institute of Electrical and Electronics Engineers |
DOI: | 10.1109/memsys.2010.5442337 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442337 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:14 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 15:55 |
Citer en APA 7: | Zandi, K., Wong, B., Zou, J., Kruzelecky, R. V., Jamroz, W., & Peter, Y.-A. (janvier 2010). In-plane silicon-on-insulator optical MEMS accelerometer using waveguide Fabry-Perot microcavity with silicon/air Bragg mirrors [Communication écrite]. 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2010), Hong Kong. https://doi.org/10.1109/memsys.2010.5442337 |
---|---|
Statistiques
Dimensions