Design and demonstration of an in-plane silicon-on-insulator optical MEMS fabry-perot-based accelerometer integrated with channel waveguides

Kazem Zandi, Joseph Andre Belanger, Yves-Alain Peter

Article de revue (2012)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/14436/
Titre de la revue :
Journal of Microelectromechanical Systems ( vol. 21 , no 6 )
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/jmems.2012.2211577
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/jmems.2012.2211577
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:14436
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:15
Citer en APA 7:
Zandi, K., Belanger, J. A., & Peter, Y.-A. (2012). Design and demonstration of an in-plane silicon-on-insulator optical MEMS fabry-perot-based accelerometer integrated with channel waveguides. Journal of Microelectromechanical Systems, 21(6), 1464-1470. https://doi.org/10.1109/jmems.2012.2211577

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