Design and demonstration of an in-plane silicon-on-insulator optical MEMS fabry-perot-based accelerometer integrated with channel waveguides

Kazem Zandi, Joseph Andre Belanger et Yves-Alain Peter

Article de revue (2012)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/14436/
Titre de la revue:	Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 21, no 6)
Maison d'édition:	IEEE
DOI:	10.1109/jmems.2012.2211577
URL officielle:	https://doi.org/10.1109/jmems.2012.2211577
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:	25 sept. 2024 15:51

Citer en APA 7:	Zandi, K., Belanger, J. A., & Peter, Y.-A. (2012). Design and demonstration of an in-plane silicon-on-insulator optical MEMS fabry-perot-based accelerometer integrated with channel waveguides. Journal of Microelectromechanical Systems, 21(6), 1464-1470. https://doi.org/10.1109/jmems.2012.2211577
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