Alexandre Poulin, Raphael St-Gelais, Ali L. Eichenberger, Luc Thévenaz et Yves-Alain Peter
Article de revue (2013)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/13256/ |
| Titre de la revue: | Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 22, no 4) |
| Maison d'édition: | IEEE |
| DOI: | 10.1109/jmems.2013.2248252 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1109/jmems.2013.2248252 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:10 |
| Dernière modification: | 08 mai 2024 14:05 |
| Citer en APA 7: | Poulin, A., St-Gelais, R., Eichenberger, A. L., Thévenaz, L., & Peter, Y.-A. (2013). MEMS Tunable Asymmetric Fabry-Perot Cavity for High-Precision Weighing of Macro Samples. Journal of Microelectromechanical Systems, 22(4), 884-891. https://doi.org/10.1109/jmems.2013.2248252 |
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