Alexandre Poulin, Raphael St-Gelais, Ali L. Eichenberger, Luc Thévenaz, Yves-Alain Peter
Article de revue (2013)
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Titre de la revue
:
Journal of Microelectromechanical Systems
(
vol.
22
,
no
4
)
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:13256
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:13
Citer en APA 7:
Poulin, A., St-Gelais, R., Eichenberger, A. L., Thévenaz, L., & Peter, Y.-A. (2013). MEMS Tunable Asymmetric Fabry-Perot Cavity for High-Precision Weighing of Macro Samples. Journal of Microelectromechanical Systems, 22(4), 884-891. https://doi.org/10.1109/jmems.2013.2248252
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