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Article de revue
Kilicaslan, A., Zabeida, O., Bousser, E., Schmitt, T., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2019). Hard titanium nitride coating deposition inside narrow tubes using pulsed DC PECVD processes. Surface and Coatings Technology, 377, 124894 (10 pages). Lien externe